Toshiba 東芝シュネデール・インバータ株式会社

半導体チップカッタ [半導体製造装置]



 インバータの選定方法は?

半導体チップカッタでは、
・使用する最高回転数
・加速時間
・減速時間
・振動
に注意が必要です。

□使用する最高回転数について
VF-AS1およびVF-S15シリーズの最高運転周波数は、500Hzとなっております。
「回転数=120×周波数/モータ極数」より、2極のモータを使用した場合、
「500Hz=30000min-1」となります。

□加速・減速時間について
加速・減速時間の設定には、注意が必要です。
・加速時間が極端に短い場合:「失速」や「OC1(加速中過電流トリップ)」が発生
・減速時間が極端に短い場合:「OC2(減速中過電流トリップ)」「OP2(減速中過電圧トリップ)」
このような症状を避けるため、下式での加速・減速時間の算出が必要です。

必要加速・減速時間

□振動について
インバータの出力電流は、完全な正弦波ではないため、モータ振動が発生する場合があります。
特に高周波領域では、「許容振動以下となっているかの確認」および「機械系との共振点を避ける」等の十分な検証が必要です。



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