Toshiba 東芝シュネデール・インバータ株式会社

半導体チップカッタ [半導体製造装置]



 インバータの一般的な使用方法は?

半導体チップカッタにインバータを適用する場合の、一般的な使用方法は以下となります。

・外部からの運転指令
・操作パネルによる周波数指令(固定周波数)
・指定速度到達信号
・緊急停止指令
・始動時出力短絡の高速モータ用設定


 インバータの設定方法は?(代表例:VF-AS1の場合)

VF-AS1と東芝産業機器システム株式会社製 高速モータ(21600min-1)と組み合わせた場合のパラメータ設定は、 以下となります。

S3(接点入力),OUT2(オープンコレクタ出力)端子を、以下に設定します。
・S3端子:緊急停止指令入力
・OUT2端子:指定速度到達信号出力
また、操作パネルからの周波数設定方法は、「0.0」表示のときに「△キー」を押すことにより、 パネル周波数指令モードになりますので、360Hzにあわせた後、「ENTキー」で記憶させてください。




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